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低加速电压文献资料
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不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响
利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像。结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富,更清晰;能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显,可以有效消除荷电现象和各种假象。
关键词: 场发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象