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TiO_2薄膜文献资料
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溅射法制备二氧化钛纳米薄膜的光催化杀菌性能
为了研究TiO_2纳米薄膜的光催化杀菌性能,采用射频反应溅射法在玻璃衬底上制得均匀透明的TiO_2纳米薄膜.利用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等表征技术研究了不同功率对TiO_2薄膜的结晶特性和表面形貌的影响.XRD与SEM研究结果显示,射频功率为200W时,射频薄膜表面光滑平整、透明、呈淡蓝色,由锐钛矿型TiO_2纳米微粒构成,其微粒大小约30 nm.杀菌性能测试表明,近紫外光催化20 min,TiO_2纳米薄膜对金黄色葡萄球菌、大肠杆菌的杀菌率均达到85%以上.
