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感光树脂文献资料
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超支化聚酯用于负性光致抗蚀剂
采用偏苯三酸酐(TMA),甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)两种单体经一步法反应制备了一系列超支化聚酯负性光致抗蚀剂.采用GPC、FTIR对超支化聚酯的结构进行了初步表征,探讨了GMA用量、投料方式和反应温度对重均分子质量及其分子量分布的影响.结果表明,增加GMA用量和选用滴加原料的方式将使树脂重均分子量增大、分子量分布变宽;反应温度为90℃时,合适.测得优化工艺所制备的光刻胶的T0(初始曝光时间)为10 s,Y gel(反差值)为2.8.
